美国禁令再升级 半导体零部件“国产替代”加速进行时 | 科技专题

半导体零部件是指在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等方面达到半导体设备及技术要求的零部件，具有细分品类多、批量小等特点，其行业的整体技术发展主要集中于如何更好实现应用于先进制程半导体设备的工程化和量产化，即国内半导体零部件的技术发展趋势与国内半导体先进制程水平息息相关。

按照业内主流的零部件划分方式，半导体零部件可以划分为机械类、电器类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类和其他零部件（如图所示）。

图片来源：兴业证券研报

值得一提的是，由于半导体设备本身结构复杂，对加工精度、一致性、稳定性要求较高，因此，半导体零部件尤其对于精密零部件的制造工序要求更为繁琐，技术难度也呈几何式上升。

基于此，行业内多数企业只专注于个别生产工艺，或专注于特定精密零部件产品，其市场相对分散，且主要由美日欧等海外厂商主导。

图：全球前十大半导体零部件厂商

根据VLSI Research数据，2010年至今，全球前十大半导体设备零部件供应商的市场份额始终维持在50%左右的水平。

10月7日，美国商务部工业与安全局（BIS）公布了《对向中国出口的先进计算和半导体制造物项实施新的出口管制》，该管制新规对向中国出口的半导体先进芯片、半导体相关制造设备以及开发或生产半导体制造设备和相关项目的出口物项等实施了新的限制。

这意味着，短期内，我国半导体先进制程的生产能力将受到不同程度的影响，但长期来看，美国加大对国内芯片产业的限制或将倒逼半导体上游领域设备、材料、零部件等加快进入验证及导入环节。

目前来看，国内半导体零部件国产化率仍然处于偏低水平。根据安信证券研报，国内石英、反应腔喷淋头、边缘环等零部件自给率大于10%，各种泵、陶瓷部件自给率在5%-10%之间，射频发生器、机械手、MFC等自给率在1%-5%之间，阀门、测量仪器等自给率甚至不到1%。

从国内厂商分布来看，国内半导体设备精密零部件厂商主要以外资控股公司为主，规模较大的半导体设备精密零部件厂商主要为台湾地区的京鼎精密、日本Ferrotec等外资企业的境内子公司。

但值得一提的是，虽然国内半导体零部件国产化率较低，但国内厂商一直在追赶与美日欧等零部件供应商大厂拉开的差距。以下为国内部分厂商在半导体零部件国产替代趋势下做出的努力：

图：公开资料整理

据此预测，美国半导体禁令升级或将为国产化半导体设备市场需求的扩大提供机会，而半导体零部件作为半导体设备的重要组成部分，其国产化进程或将受益于此得以进一步提速。

根据SEMI数据，2021年全球半导体设备市场规模达到1025亿美金，预计2022年进一步提升14.7%至1175亿美金。若按零部件占设备市场规模的50%测算，则2022年全球半导体零部件市场规模预计约587亿美金。2019-2021年中国大陆半导体设备销售额占全球的平均比重为25.9%，据此测算，则2022年中国大陆零部件市场规模约为152亿美金[1]。

可见，中国半导体零部件行业拥有巨大的市场空间，在美国禁令的影响下，国内半导体设备厂商或将积极推动半导体零部件国产化进程，以填补巨大的市场空缺。

另外，根据ETNews二季度报道，半导体核心零部件的交货期为6个月以上，较正常2-3个月的交货期提升2-3倍。

以上数据表明，半导体零部件正面临短缺严重的风险，在美国禁令的压力下，半导体设备国产化进程加速也将受益零部件行业国产化率的持续提升。

不仅如此，近年来，为完善我国半导体产业链布局、保证产业链安全自主可控，中央及地方接连出台一系列政策法规来支持和引导国内半导体行业的发展，受益于此，半导体设备、材料、零部件等亟待“国产替代”的产业必将逐渐涌现出越来越多具备国际竞争力的企业。

随着半导体市场需求及技术不断迭代与更新，即使国内半导体先进制程短期内或将受美国禁令的影响，但长期来看，若想推动半导体先进制程的发展、实现国内半导体产业内循环，包括半导体零部件在内的上下游产业链加速“国产替代”必将成为主流发展趋势。

注：[1]以50%进行测算的依据：主要根据富创精密招股书及国内外半导体设备厂商公开披露信息，设备成本构成中通常原材料（不同类型的精密零部件产品）占比90%以上为原材料，考虑国际半导体设备公司毛利率通常在40%-45%左右，则全部精密零部件市场约为全球半导体设备市场规模的50%-55%（来源：国盛证券研报，部分数据略有调整）。